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溅射薄膜压力传感器在航空工业的应用

2020-3-5

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溅射薄膜压力传感器

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在航空发动机压力检测中,目前用于高温压力测量的传感器多采用国外进口SOI高温压力传感器,该进口传感器不仅价格昂贵,而且使用寿命不长,给使用单位的测试工作带来了很大的实验成本;薄膜压力传感器高温可达到400℃,精度可以达到0.05级,使用寿命在107次,且价格不到进口传感器的1/3,因此,在航空业上高温压力测量方面薄膜压力传感器将逐步替代进口压力传感器。

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在大气参数测量中,振筒式传感器应用的比较广泛,但振筒式传感器的最大缺陷就是体积较大,输出形式单一,而薄膜压力传感器体积只有振筒式传感器的1/10,并且输出形式多样,更适合于大气参数(动压、静压)计算机系统。 以上是溅射膜压力传感器在航空业的应用趋势,到目前为止,已经有多种航空武器和多家航空单位在应用溅射薄膜压力传感器。 本文源自泽天传感,福彩快三,转载请保留出处。

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