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溅射膜压力传感器对比粘贴式应变压力与扩散硅压力的优势

发布时间:2019-12-26      发布人:泽天传感      点击:

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粘贴应变式(应变片)压力传感器诞生已半个世纪,是最早生产的压力传感器类型。其原理缺陷是采用有机高分子基底与粘胶,不耐高温且长期稳定性差,蠕变大,一般用于低价位,要求不高的测量系统。半导体扩散硅压阻式压力传感器福彩快三是采用半导体工艺在硅片上扩散制成敏感元件,经引线、充硅油封装成压力敏感芯体。将压力敏感芯体通过“O”型橡胶密封圈封装到压力接嘴内形成压力传感器。它的工作原理是:当压力作用到敏感芯体时引起扩散电阻的电阻率变化从而引起敏感电阻的变化,实现压力变化转换成电信号的变化。产品优点是适于大批量生产、成本低、输出大、适于微压、低压品种。但缺点也很突出,首先由于它的敏感电阻是由半导体硅扩散而成,因此它的电阻温度系数极差,当温度超过85℃温度补偿非常困难,低于-45℃时扩散硅的电阻率变化及大且无规律,无法满足环境耐温要求。其次由于半导体硅的易脆性以及采用隔离膜充硅油封装的原因,产品不能抗高强度的震动和冲击,频率响应也较低。

溅射薄膜压力传感器是近二十余年来薄膜技术与半导体技术综合而发展起来的高稳定品种。它的压力敏感芯体是利用离子束溅射成膜设备在高强度耐蚀不锈钢沉淀绝缘及敏感薄膜,取代传统粘贴式有机化合基底及金属敏感栅,然后溅射保护膜保护敏感膜而形成的。其次薄膜压力传感器是通过激光焊接或等离子焊接的办法将敏感芯体和不锈钢压力接嘴焊接成一个整体,因此溅射薄膜压力传感器具有以下特点:

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溅射薄膜压力传感器非常适合大量称压力的测量,但是,在压力量程400KPA以下,一般不适合使用溅射薄膜压力传感器。本文源自泽天传感福彩快三,福彩快三,转载请保留出处。